氧化亚硅作为光学镀膜材料，主要应用于以下领域：

保护膜
氧化亚硅薄膜具有高硬度和抗腐蚀性，常用于透镜、镜片等光学元件表面，形成保护层以抵抗外界磨损和化学腐蚀。例如，其与硫化锌烧结压片搭配可应用于红外滤光片和玻璃饰品镀膜。此外，氧化亚硅还可通过真空蒸发技术涂覆在金属反射镜表面，增强镜面耐久性。

增透膜
氧化亚硅与硫化锌等材料组合使用，可制备增透膜，显著降低光学元件表面的反射率，提升透光率。这种技术广泛应用于塑料或玻璃材质的光学器件（如相机镜头、望远镜镜片）中，以优化成像质量

分光膜与功能薄膜
氧化亚硅薄膜通过精确控制折射率和厚度，可制成分光膜、冷光膜及干涉滤光片等。例如，在LED照明中，氧化亚硅薄膜用于调控光线的波长分布，提高光效；在激光器件中，则用于制造高反射率膜层。

半导体与光学仪器涂层
氧化亚硅的高纯度和均匀性使其成为半导体器件和精密光学仪器的理想涂层材料，可改善器件表面导电性或光学性能、

生产工艺方面，氧化亚硅镀膜通常采用真空蒸发、磁控溅射等技术，需严格控制真空度、沉积速率等参数以确保膜层均匀性。例如，通过电子束加热或阻性加热将氧化亚硅蒸发并沉积到基材表面，形成纳米级薄膜。